直讀光譜儀已經廣泛的使用于各個行業，斯派克直讀光譜儀具有分析準確、快速、性能優越、使用簡單等特點。由于使用儀器頻率的升高，那便會出現設備故障等問題，氣路故障便是其中一個比較突出的故障問題。這篇文章便是儀德公司幫助用戶在使用儀器時，遇到氣路故障應如何分析排除、維修、維護等排障處理。

一、氣路流量故障分析

1. 故障分析

真空室快門故障是氣路流量直接導致。該故障表現為Fe1 187.740nm譜線與C、P、S、Sn、As、B等真空室元素光強值非常低。報出結果基本為零,而其它光學室元素正常報出。檢查儀器，真室室快門不能下落。故障分析認為，氣路流量過小或流量搭配不合理，火花臺灰塵落入快門中，使快門不能下落。氣路流量過小又分為激發流量過小與常流量過小兩種情況。

2. 故障排除

首先拆下真空室快門，用真空泵油或粘度較小的機油清洗，潤滑快門。在吹氬條件下,調節表閥門，使表 13 與表 14為150L/H與300L/H，表4壓力在0.6-0.8MPa之間。也可根據情況調大 LF、CF，保持較大常流量。正常待機1.0-12MPa。

二、氣路水污染故障分析

1. 故障分析

儀器在氬氣純度，流量，電極位置等條件正常下，樣品激發點發白，光強值偏低，儀器報警并不報結果，這種情況是火花臺部分含有一定水分所致。出現該故障由于看不到水的存在一般極難判斷。火花臺存在的水分有三個方面來源，一是清火花臺時吸塵器吸人入，一個是用水冷料時濕料帶人，第三個是氬氣瓶中含有的水分帶入。

2. 故障排除

火花臺水分來自吸塵器吸人與濕料帶入時，拆掉火花臺，用無水乙醇，乙醚等揮發性較強的有機物擦拭火花臺，并用電吹風吹干。火花臺水分來自氬氣瓶時，不僅要清理火花臺部分，而且氣路也必須用電吹風在氬氣大流量情況下吹干。

三、氣路堵塞故障分析

1. 故障分析

氣路堵塞在生產中不易發現，但潛在的危害較大。故障表現為氬氣瓶分壓表從0.5MPa自動上升，正常激發時火花飛濺。

2. 故障排除

拆下光譜儀氣路圖中調壓旋鈕3，大流量沖洗管路。拆下火花臺后管路,，用清水或強壓氣流沖洗，應特別注意火花臺與管路接口處氣路暢通。

四、其它氣路故障

光譜儀氣路還有氣路漏氣、換氣污染等其它氣路故障，一般可參照上述三種氣路故障維修處理。